多晶硅生产技术及工艺配方(上)  全套93项共800元

1.电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳
2.低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法
3.具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法
4.多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法
5.形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件
6.具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器
7.多晶硅薄膜晶体管的形成方法
8.一种制备多晶硅的方法
9.用于制造垂直DRAM中的钨/多晶硅字线结构的方法及由此制造的器件
10.在半导体装置中形成多晶硅层的方法
11.制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管
12.光罩与应用其形成多晶硅层的方法
13.无粉尘且无微孔的高纯度粒状多晶硅
14.制造内层多晶硅介电层的方法
15.制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法
16.制造多晶硅层的方法及其光罩
17.包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法
18.减小微沟道效应的多晶硅刻蚀工艺
19.避免沟槽底部毛边生成的多晶硅刻蚀工艺
20.多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法
21.多晶硅膜的形成方法
22.多晶硅膜的形成方法
23.多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备
24.多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件
25.制作低温多晶硅薄膜的方法
26.具有多晶硅熔丝的半导体器件及其微调方法
27.一种制备多晶硅绒面的方法
28.闪存储器用的多层叠层多晶硅栅的平整方法
29.彩色多晶硅微粒及其制备方法
30.半导体器件及制作一低温多晶硅层的方法
31.改善栅极多晶硅层电阻值的方法
32.形成具有粗糙表面的多晶硅的方法
33.多晶硅薄膜晶体管制造方法
34.多晶硅液晶显示器件的制造方法
35.低温多晶硅薄膜晶体管基板
36.低温多晶硅显示装置
37.低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
38.低温多晶硅薄膜晶体管
39.制造多晶硅层的方法
40.多晶硅层结构与其形成方法以及平面显示器
41.低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法
42.包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法
43.半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
44.提高深亚微米多晶硅栅刻蚀均匀性的方法
45.制造双层多晶硅可改写非挥发性存储器的方法
46.多晶硅氢还原炉
47.制造双层多晶硅存储器元件的方法
48.具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法
49.15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法
50.一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法
51.底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法
52.利用双镶嵌工艺来形成T型多晶硅栅极的方法
53.形成T型多晶硅栅极的方法
54.形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法
55.利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法
56.应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法
57.低温多晶硅显示装置及其制作方法
58.一种抑制多晶硅针孔的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法
59.低温多晶硅薄膜电晶体基板及其制作方法
60.多晶硅化金属栅极结构及其制造方法
61.多晶硅氢还原炉
62.多晶硅氢还原炉
63.形成多晶硅锗层的方法
64.具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置
65.多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法
66.低温多晶硅薄膜的制造方法
67.集成电路多晶硅高阻电阻的制作方法
68.半导体元件和在其中形成多晶硅层的制造方法
69.三维多晶硅只读存储器及其制造方法
70.陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池
71.多晶硅薄膜晶体管离子注入机
72.多晶硅的定向生长方法
73.制备多晶硅的方法
74.多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置
75.利用自行对准金属硅化物制程形成多晶硅电容器的方法
76.基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法
77.多晶硅的蚀刻方法
78.形成多晶硅结构
79.形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法
80.多晶硅层的处理方法
81.形成多晶硅层的方法
82.多晶硅薄膜的制造方法
83.低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
84.多晶硅薄膜的制造方法
85.多晶硅层的结晶方法
86.于基板上形成多晶硅层的方法
87.形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法
88.多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法
89.低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
90.薄膜晶体管的多晶硅制造方法
91.多晶硅薄膜的制造方法
92.低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法
93.利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法