单晶硅生产技术及配方工艺 全套51项共600元
1.纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法 2.单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜的方法 3.单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法 4.单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法 5.用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法 6.直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法以及使用该掺杂剂的单晶硅的制造方法 7.具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备 8.单晶硅微机械加工的电容式麦克风及其制造方法 9.单晶硅膜的制造方法 10.硅片和生产单晶硅的方法 11.单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜的制备方法 12.利用坩锅旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法 13.单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置 14.提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法 15.平板单晶硅表面的改性方法 16.单晶硅晶片及外延片以及单晶硅的制造方法 17.单晶硅的制造方法及单晶硅以及硅晶片 18.单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法 19.单晶硅太阳能电池的表面结构及其制作方法 20.直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法 21.分离单晶硅埚底料中石英的工艺 22.用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法 23.单晶硅晶片及单晶硅的制造方法 24.用于制备低铁污染单晶硅的装置和方法 25.用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法 26.标定单晶硅晶圆晶向的方法 27.绝缘体上单晶硅(SOI)材料的制造方法 28.制备具有均匀热过程的单晶硅的方法 29.热退火后的低缺陷密度单晶硅 30.从低缺陷密度的单晶硅上制备硅-绝缘体结构 31.具有改进的内部收气的热退火单晶硅片及其热处理工艺 32.具有非均匀少数载流子寿命分布的单晶硅及其形成工艺 33.形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法 34.生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法 35.通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品 36.双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法 37.提拉单晶硅的装置 38.单晶硅锭及其制造方法 39.单晶硅直径控制法及其设备 40.单晶硅直径测定法及其设备 41.单晶硅生产设备 42.单晶硅生产设备 43.单晶硅生产设备 44.制造单晶硅的装置 45.制造单晶硅的设备 46.单晶硅生产装置 47.一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构 48.单晶硅的制造设备 49.一种具有负电阻温度系数的单晶硅热敏电阻器及其制造方法 50.非线性磁场单晶硅拉制方法及其装置 51.制备单晶硅片表面完整层的新途径
|